其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、mocvd/led消费工艺和气体应用。
安全贮运
1. 危险品专车运输, 是厂家直接送货并有合格的---员, 懂行的搬运工, 轻装轻卸。
2. 瓶帽必须配戴好,特种气体生产, 避免在汽车急刹车及装卸过程中撞开瓶阀发生危险, ---是高纯氢等易i燃气的运输。
3. 禁止高纯氧、空气和可燃气体混装。
同时, 严---火, 运输工具上应备有灭火器材。
4. 夏季运输应有遮阳设施, 避免曝晒。
5. 有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚地i标明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记(例如易i燃、易i爆、有毒等) 。
6. 有专人负责管理,特种气体有哪些, 验收核实,特种气体储存, 登记发放做到有帐可查。
7. 不管是仓库还是使用场所, 空瓶与实瓶都应分开放置, 并有明显标志。毒性气体气瓶和瓶内气体相互接触能引起燃烧、爆i炸, 产生毒物的气瓶应分室存放, 并在附近设置防毒用具、灭火器材。
8. 放置气瓶时应配戴好瓶帽。立放时要妥善固定, 防止倒瓶碰坏瓶阀。
9. 气瓶露天使用时应加以防护, 防止生锈和侵蚀, 库存瓶要定期检查, 色标、合格证、泄漏等如不清楚、有疑问, 应及时和厂家联系, 分析确认后才可使用。
10. 另外气体采购计划按生产需要的实际情况尽量做到现购现用, 以防止使用过期钢瓶, 同时可减少很多不安全因素。
建议生产及销售石化特种气体的单位在产品出厂时瓶嘴上戴防污帽。建议运输部门生产钢瓶运输车。
注意用氧安全,做好防震、防火、防热、防油等工作。氧能助燃,应放在阴凉处,严禁接近烟火和易i燃物;不可在氧气表螺旋口上抹油
在使用和贮运高纯氧气气瓶过程中,应避免剧烈震动和撞击。搬运气瓶要轻装轻卸,必须用专门的抬架或小推车,禁止直接使用钢丝绳等吊运氧气瓶。使用和贮存时,安徽特种气体,应用栏杆或支架对气瓶加以固定,防止倾倒。
瓶装氧气产品为高压充装气体,使用时应经yqy-12、152x-125等氧气减压器减压降i压后方可使用。
使用前要仔细观看气瓶肩部球---分的标志。---是注意“下次试压时间“。并在使用过程中按照要求定期对气瓶作技术检验。不得使用超过应检期限的气瓶,凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验,方能继续使用。
每瓶气体在使用到尾气时,应保留瓶内余压在0.5mpa,不得低于0.25mpa余压,应将瓶阀关闭,以---气体和使用安全。
瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放,严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起,不准靠近明火和热源,应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击,严禁在气瓶身上进行引弧或电弧,严禁野蛮装卸。
液氧的温度低至-183.0℃,跟皮肤接触会使皮肤---冻i伤。
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